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不同氮气气压脉冲激光沉积氮化钛薄膜的结构和电学性能 期刊论文
功能材料, 2018, 卷号: 49, 页码: 6196-6200
作者:  李玉雄[1];  隋展鹏[2];  谷承艳[3];  陈益钢[4];  蒋春萍[5]
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2019/04/22


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