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BCl_3-NH_3-H_2-N_2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层 期刊论文
无机材料学报, 2018, 页码: 1-7
作者:  王梦千[1];  贾林涛[2];  李爱军[3];  彭雨晴[4];  张方舟[5]
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2019/04/22
BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33, 页码: 1179-1185
作者:  王梦千[1];  贾林涛[2];  李爱军[3];  彭雨晴[4];  张方舟[5]
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2019/04/22


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