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微电子研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
专利 [1]
发表日期
2018 [3]
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发表日期:2018
专题:微电子研究所
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Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods
期刊论文
J Vac Sci Technol B, 2018
作者:
Zhang LB(张利斌)
;
Ma L(马乐)
;
Chen R(陈睿)
;
He JF(何建芳)
;
Su XJ(苏晓菁)
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2019/05/05
一种扫描电子显微图像的三维重构方法
专利
专利号: CN201510891707.0, 申请日期: 2018-08-10, 公开日期: 2016-05-18
作者:
张利斌
;
粟雅娟
;
韦亚一
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2019/03/21
High-Temperature-Recessed Millimeter-Wave AlGaN/GaN HEMTs With 42.8% Power-Added-Efficiency at 35 GHz
期刊论文
IEEE Electron Device Letters, 2018
作者:
Zheng YK(郑英奎)
;
Liu GG(刘果果)
;
Chen XJ(陈晓娟)
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提交时间:2019/04/19
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