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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2018    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种超临界二氧化碳工质车载式空冷机组 专利 申请日期: 2018-05-04, 作者:  张延丰;  白博峰;  常春梅;  侯霄艳;  胡国栋 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/11/26 Research on ion implantation in MEMS device fabrication by theory, simulation and experiments 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2018, 卷号: 32 作者:  Bai, Minyu;  Zhao, Yulong;  Jiao, Binbin;  Zhu, Lingjian;  Zhang, Guodong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/26 fabrication  Ion implantation  microelectromechanical systems (MEMS)