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一种化学腐蚀剥离衬底的微尺寸谐振腔LED芯片及其制备方法 专利
专利号: CN107369746A, 申请日期: 2017-11-21, 公开日期: 2017-11-21
作者:  黄华茂;  杨倬波;  王洪;  胡晓龙
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