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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究 期刊论文 《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 1-5 作者:  陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/24 微机电系统(MEMS)惯性器件  可靠性  失效模式 失效机理