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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 TMA脉冲和吹扫时间对原子层沉积的氧化铝薄膜的影响 期刊论文 功能材料, 2017, 卷号: 48, 页码: 7178-7181 作者:  李春亚[1];  张浩[2];  宋建涛[3];  丁星伟[4];  魏斌[5] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/04/26 原子层沉积  Al2O3薄膜  三甲基铝  脉冲   TMA脉冲和吹扫时间对原子层沉积的氧化铝薄膜的影响 期刊论文 功能材料, 2017, 卷号: 48, 页码: 07178-07181 作者:  李春亚[1];  张浩[2];  宋建涛[3];  丁星伟[4];  魏斌[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/24 原子层沉积  Al_2O_3薄膜  三甲基铝  脉冲