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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Mechanismand model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers 期刊论文 Thin solid films, 2016, 卷号: 612, 页码: 96-100 作者:  Song, Yuan;  Lu, Qipeng;  Gong, Xuepeng 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/09 Atomic hydrogen cleaning  Different types of carbon contamination  Extreme ultraviolet lithography  Cleaning mechanism