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硅氮薄膜的摩擦性能与其表面能的相关性 (EI收录) 期刊论文
《功能材料》, 2016, 卷号: 47, 页码: 12001-12006
作者:  石志锋[1];  黄楠[2];  王琳[1];  宁成云[1];  王迎军[1]
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