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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文 2016, 卷号: 0, 页码: 285-289 作者:  李东玲[1,2];  冯小飞[3];  温志渝[1,2];  尚正国[1,2];  佘引[1,2] 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/11/28 圆片级低真空封装的MEMS压电振动能量收集器结构设计 Structure Design of MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester with Wafer-Level Low Vacuum Packaging 期刊论文 2016, 卷号: 29, 页码: 1323-1327 作者:  张颖异[1];  温志渝[2,3];  邓丽城[2,3] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/30