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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
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发表日期:2016
专题:半导体研究所
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Influences of annealing on structural and compositional properties of Al2O3 thin films grown on 4H–SiC by atomic layer deposition
期刊论文
Chinese Physics B, 2016, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 128104
Li-Xin Tian
;
Feng Zhang
;
Zhan-Wei Shen
;
Guo-Guo Yan
;
Xing-Fang Liu
;
Wan-Shun Zhao
;
Lei Wang
;
Guo-Sheng Sun
;
Yi-Ping Zeng
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提交时间:2017/03/10
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