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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PIA-EB-Hf法制备的单层HfO2激光薄膜残余应力及化学计量比的调控 期刊论文 真空科学与技术学报, 2016, 卷号: 36, 页码: 515-523 作者:  付朝丽[1];  杨勇[2];  马云峰[3];  黄政仁[4];  焦正[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/26 氧化铪  等离子体辅助电子束蒸发  激光损伤  残余应力  化学计量比