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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Model-driven multicomponent volume exploration 期刊论文 VISUAL COMPUTER, 2015 作者:  Shen Enya;  Xia Jiazhi;  Cheng Zhiquan;  Martin Ralph R.;  Wang Yunhai 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/01/27 Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504 作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 Optimal shift of pattern shifting for mitigation of mask defects in extreme ultraviolet lithography 期刊论文 j. vac. sci. technol. b, 2015, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 51603 作者:  Liu, Xiaolei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Zhang, Heng 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 Analytical analysis for impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging quality 会议论文 conference on optical microlithography xxviii 作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 In situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 1, 页码: 11005 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yang, Jishuo;  Duan, Lifeng;  Tang, Feng 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting 期刊论文 j. opt., 2015, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: 65401 作者:  Li, Jie;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Dai, Fengzhao;  Feng, Peng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28 Source Optimization using Particle Swarm Optimization Algorithm in Photolithography 会议论文 conference on optical microlithography xxviii 作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28