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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/07/06 光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构