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The effects of process condition of Top-TiN and TaN thickness on the effective work function of MOSCAP with high-k/metal gate stacks 期刊论文
Journal of Semiconductors, 2014
作者:  Chen DP(陈大鹏);  Ma XL(马雪丽);  Yang H(杨红);  Wang WW(王文武);  Yin HX(殷华湘)
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2015/05/06
级联堆叠纳米线MOS晶体管及其制作方法 专利
专利号: 10068990, 申请日期: 2014-09-24,
作者:  殷华湘,马小龙,徐唯佳,徐秋霞,朱慧珑
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2019/03/27
半导体器件及其制造方法 专利
专利号: CN201410464881.2, 申请日期: 2014-09-12,
作者:  殷华湘;  秦长亮;  王桂磊;  朱慧珑
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/03/25
半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201410459513.9, 申请日期: 2014-09-11,
作者:  殷华湘;  秦长亮;  马小龙;  王桂磊;  朱慧珑
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/03/26
半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201410459780.6, 申请日期: 2014-09-11,
作者:  殷华湘;  马小龙;  张严波;  朱慧珑
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/03/26
An effective work-function tuning method of nMOSCAP with high-k/metal gate by TiN/TaN double-layer stack thickness 期刊论文
Journal of Semiconductors, 2014
作者:  Chen DP(陈大鹏);  Ma XL(马雪丽);  Yang H(杨红);  Wang WW(王文武);  Yin HX(殷华湘)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2015/05/06
Integration of highly-strained SiGe materials in 14nm and beyond nodes FinFET technology 期刊论文
Solid-State Electronics, 2014
作者:  Li JF(李俊峰);  Wang GL(王桂磊);  Luo J(罗军);  Guo YL(郭奕栾);  Chen T(陈韬)
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