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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 王君; 金春水; 王丽萍; 郭本银; 喻波 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/04/17 成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒