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科研机构
河北大学 [3]
内容类型
专利 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2013 [3]
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发表日期:2013
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用于硅基铁电电容器集成的一种阻挡层材料及集成方法
专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-07-24
作者:
刘保亭[1]
;
郭建新[2]
;
张磊[3]
;
齐晨光[4]
;
赵庆勋[5]
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/21
一种用于铜互连的导电阻挡层材料及其制备方法
专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-12-11
作者:
刘保亭[1]
;
张磊[2]
;
齐晨光[3]
;
李晓红[4]
;
代秀红[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/21
含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究
期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 282-285
作者:
赵庆勋[1]
;
齐晨光[2]
;
贾冬梅[3]
;
付跃举[4]
;
郭建新[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/12/21
Ni-Nb阻挡层
Pb(Zr_(0.4)
Ti_(0.6))O_3
La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3
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