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用于硅基铁电电容器集成的一种阻挡层材料及集成方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-07-24
作者:  刘保亭[1];  郭建新[2];  张磊[3];  齐晨光[4];  赵庆勋[5]
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一种用于铜互连的导电阻挡层材料及其制备方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-12-11
作者:  刘保亭[1];  张磊[2];  齐晨光[3];  李晓红[4];  代秀红[5]
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含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究 期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 282-285
作者:  赵庆勋[1];  齐晨光[2];  贾冬梅[3];  付跃举[4];  郭建新[5]
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