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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2013    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of laterally driven bulk titanium devices on titanium-on-glass wafers 期刊论文 journal of micromechanics and microengineering, 2013 Zhang, Yiming; Li, Nannan; Yan, Bo; Feng, Xiaoyang; Hu, Jia; He, Shuwei; Hao, Yilong; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS APPLICATIONS  SILICON  SOI   In-situ measurement of ion angular distribution in bulk titanium DRIE for modeling the etch profile 其他 2013-01-01 Hu, Jia; He, Shuwei; Zhang, Yiming; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 IAD  SU-8  overhang  stiction  DRIE  model