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EFFECTS OF TEMPERATURE AND SPUTTERING POWER ON THE MORPHOLOGY AND OPTICAL CONSTANTS OF THIN TANTALUM FILMSSCI被引量:SCI原文链接 期刊论文
2012, 卷号: 19, 期号: 4
作者:  Gao, Shang[1];  Wang, Shuyun[2];  Lian, Jie[1];  Li, Ping[1];  Wang, Xiao[1]
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