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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Technology of focus detection for 193nm projection lithographic tool 会议论文 Proceedings of SPIE: 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Smart Structures, Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2012 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Xu, Feng;  Li, Jinglong 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/24