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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152 王君; 金春水; 王丽萍; 卢增雄 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2013/03/11 X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶