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北京大学 [2]
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期刊论文 [1]
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2012 [2]
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发表日期:2012
专题:北京大学
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纳米尺度多晶硅微结构刻蚀研究
期刊论文
微纳电子技术, 2012
李悦
;
田大宇
;
李静
;
刘鹏
;
戴晓涛
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提交时间:2015/11/11
ICP刻蚀系统
刻蚀速率
选择比
刻蚀形貌
电子束光刻
纳米尺度多晶硅线条
硅微条探测器的研制
其他
2012-01-01
谭继廉
;
靳根明
;
李占奎
;
段利敏
;
李海霞
;
戎欣娟
;
王秀华
;
卢子伟
;
王柱生
;
祖凯玲
;
刘凤琼
;
李荣华
;
许发月
;
陈翠红
;
李春艳
;
鲁辰桂
;
杨贺润
;
田大宇
;
于民
;
王金延
;
张录
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2015/11/12
硅微条探测器
平面工艺
电特性
探测特性
漏电流
能量分辨
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