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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2010    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于X波段移相器的RF MEMS开关设计 Design of the RF MEMS Switch for X-Band Shifters 期刊论文 2010, 卷号: 47, 页码: 762-769 作者:  柏鹭[1,3] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/30 DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响 Influence of the DRIE Process Error on the Frequency of MEMS Comb-Drive Resonators 期刊论文 2010, 卷号: 47, 页码: 776-780 作者:  王强[1,3];  高杨[3,4];  贾小慧[2];  柏鹭[2] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/30