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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    学科主题：光电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Cl2／Ar／BCl3ICP刻蚀对AIGaN的损伤研究 期刊论文 固体电子学研究与进展, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 420-423 作者:  赵德刚;  陈亮 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/11/23