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科研机构
兰州大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2007 [2]
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发表日期:2007
内容类型:会议论文
专题:兰州大学
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氮化硼薄膜在退火相变中的应力研究
会议论文
第六届中国功能材料及其应用学术会议
作者:
张晓康
;
邓金祥
;
王瑶
;
陈光华
;
郝伟
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提交时间:2015/06/24
氮化硼薄膜
退火
傅立叶变换红外光谱
应力
氮气含量对沉积BN薄膜的影响
会议论文
第十六届全国半导体物理学术会议
作者:
王瑶
;
邓金祥
;
张晓康
;
陈光华
;
郝伟
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/06/24
BN
立方氮化硼
射频磁控溅射
红外吸收谱
光电子器件
靶材
化学性能
工作气体
化学配比
傅立叶变换
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