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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2006    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1792765, 申请日期: 2006-06-28, 公开日期: 2006-06-28 杨恒; 许科峰; 李铁; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/06 在（111）晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1743261, 申请日期: 2006-03-08, 公开日期: 2006-03-08 杨恒; 李铁; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/01/06 基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质 期刊论文 半导体学报, 2006, 期号: 09 刘文平; 李铁; 杨恒; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/06 电迁移  铝互连  微结构   先进体硅机械加工技术——从微米到纳米 会议论文 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨恒; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/01/18 传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作 会议论文 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006 王跃林; 王渭源; 李昕欣; 焦继伟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐; 吴亚明; 李铁; 杨建义 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/18