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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2006    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文 物理学报, 2006 阮勇; 郇勇; 张大成; 张泰华; 王阳元 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 阳极键合  硅深刻蚀  键合强度  最大抗扭强度  anodic bonding  DRIE  bonding strength  maximal torsional strength