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a-Si∶O∶H薄膜微结构及其高温退火行为研究 期刊论文
物理学报, 2001, 卷号: 50, 期号: 12, 页码: 2418
王永谦; 陈长勇; 陈维德; 杨富华; 刁宏伟; 许振嘉; 张世斌; 孔光临; 廖显伯
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