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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  管文超 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模衍射场  缺陷  快速仿真计算  米散射   基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  朱锋 收藏  |  浏览/下载：139/0  |  提交时间：2016/11/28 激光并行直写  自动聚焦  达曼光栅  微纳加工  误差分析与校正   高功率激光前端综合建模与相关实验研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  卢兴华 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/11/28 低温Yb:YAG，再生放大器，ASE，热效应，幅度调制效应   皮秒拍瓦前端OPCPA的工程设计研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  王艳海 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 光参量啁啾脉冲放大  千焦尔钕玻璃拍瓦激光器  信噪比  光束质量  惯性约束核聚变  激光脉冲时间整形  光谱整形   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:  穆永吉 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频，光学锁相环，1572nm种子激光器，1064nm种子激光器，IPDA激光雷达，高光谱分辨率激光雷达  Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频  Frequency-modulation spectrum stabilization  光学锁相环  Optical phase-locked loop  1572nm种子激光器  1572nm seed laser  1064nm种子激光器  1064nm seed laser  IPDA激光雷达  IPDA lidar  高光谱分辨率激光雷达  High spectral resolution lidar   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)