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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  沈丽娜 收藏  |  浏览/下载：164/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  矢量成像模型  偏振像差  泡利-泽尼克系数  偏振像差检测   Modulation for focusing properties of vector beams in imaging systems 期刊论文 opt. commun., 2014, 卷号: 311, 页码: 117 作者:  Weng, Xiaoyu;  Guo, Hanming;  Sui, Guorong;  Hu, Qi;  Zheng, Jihong 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 Inhomogeneous polarization modulation  Focusing properties  Vector diffraction  Multifocus   Modulation for focusing properties of vector beams in imaging systems 期刊论文 opt. commun., 2014, 卷号: 311, 页码: 117 作者:  Weng, Xiaoyu;  Guo, Hanming;  Sui, Guorong;  Hu, Qi;  Zheng, Jihong 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 Inhomogeneous polarization modulation  Focusing properties  Vector diffraction  Multifocus   Modulation for focusing properties of vector beams in imaging systems 期刊论文 opt. commun., 2013, 卷号: 311, 页码: 117 作者:  Weng, Xiaoyu;  Guo, Hanming;  Sui, Guorong;  Hu, Qi;  Zheng, Jihong 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 基于二元光学元件的三维聚焦光场整形技术 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  余俊杰 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2016/11/28 二元相位光瞳滤波器，达曼相位编码，聚焦双Bessel光束，聚焦焦斑阵列，三维涡旋阵列   Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling 期刊论文 chinese journal of mechanical engineering (english edition), 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 1, 4 Wang Yong and Liu Zhigang and Bo Feng and朱健强 收藏  |  浏览/下载：1375/229  |  提交时间：2009/09/18 Control  Design  Diffraction gratings  High energy lasers  Mechanisms  Piezoelectric actuators  Stability  Voltage control