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广义斐波那契光子筛的三维阵列聚焦特性研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  柯杰
收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2016/11/28
环形泵浦的涡旋光Nd:YAG激光器及其腔内倍频实验研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  徐云
收藏  |  浏览/下载：184/0  |  提交时间：2016/11/28
Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者:  Meng ZJ(孟泽江);  Li J(李杰);  Zhu PH(朱鹏辉);  Wang XC(王向朝);  Tang F(唐锋)
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者:  Meng ZJ(孟泽江);  Fang W(方伟);  Tang F(唐锋);  Wang XC(王向朝);  Zhu PH(朱鹏辉)
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2017/12/25
高精度非干涉相位检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  王海燕
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/28
Reducing aberration effect of Fourier transform lens by modifying Fourier spectrum of diffractive optical element in beam shaping optical system 期刊论文
appl. optics, 2015, 卷号: 54, 期号: 30, 页码: 8891
作者:  Zhang, Fang;  Zhu, Jing;  Song, Qiang;  Yue, Weirui;  Liu, Jingdan
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28
Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool 会议论文
international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments
作者:  Fang, Ruifang;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28
Design and simulation of illuminator with micro scanning slit array for NA 0.75 lithography system 会议论文
conference on optical microlithography xxvi
作者:  Zhu, Linglin;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Fang, Ruifang;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28
Design and Fabrication of a polarization-independent two-port beam splitter 期刊论文
applied optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 29, 页码: 5636
Jijun Feng; Changhe Zhou; Jiangjun Zheng; Hongchao Cao; Peng Lv
收藏  |  浏览/下载：1733/314  |  提交时间：2010/05/13
Dual-function beam splitter of a subwavelength fused silica grating 期刊论文
applied optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 14, 页码: 2697
Jijun Feng, Changhe Zhou, J. Zheng, H. Cao, and P. Lv
收藏  |  浏览/下载：1063/205  |  提交时间：2010/05/13

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