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光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  李杰
收藏  |  浏览/下载：265/0  |  提交时间：2016/11/28
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  方伟
收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2016/11/28
Thermal-induced wavefront aberration in sapphire-cooled Nd:glass slab 期刊论文
Appl. Phys. B-Lasers Opt., 2016, 卷号: 122, 期号: 7
作者:  Lu, Xinghua;  Huang, Tingrui;  Huang, Wenfa;  Wang, Jiangfeng;  Li, Xuechun
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/12/25
Pupil Calibration Method of Non-Modulation Pyramid Wavefront Sensor 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 601002
作者:  Chen XY(陈欣扬);  Yan ZJ(颜召军);  Yang PQ(杨朋千)
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25
Influence of temperature on the optical system with large diameter off-axis parabolic lenses 会议论文
作者:  Su, Yaru;  Ruan, Hao;  Liu, Jie
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25
Pupil Calibration Method of Non-Modulation Pyramid Wavefront Sensor 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 601002
作者:  Chen XY(陈欣扬);  Yan ZJ(颜召军);  Yang PQ(杨朋千)
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/12/25
Thermal-induced wavefront aberration in sapphire-cooled Nd:glass slab 期刊论文
Appl. Phys. B-Lasers Opt., 2016, 卷号: 122, 期号: 7
作者:  Huang, Tingrui;  Huang, Wenfa;  Wang, Jiangfeng;  Lu, Xinghua;  Li, Xuechun
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/12/25
Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者:  Meng ZJ(孟泽江);  Li J(李杰);  Zhu PH(朱鹏辉);  Wang XC(王向朝);  Tang F(唐锋)
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/12/25
Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/12/25

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