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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜   光学元件应力测量研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  谷耀辉 收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2016/11/28 应力  偏振  光弹性  等倾线  等色线   相对角度法测量波片相位延迟量 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 908002 作者:  谷耀辉;  张燕;  焦翔;  朱健强 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28 基于多次全内反射的大口径光学元件缺陷三维检测技术研究 学位论文 作者:  杨菲菲 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/12/26 大口径光学元件  large optics  缺陷检测  defect detection  多次全内反射  multiple total internal reflection  缺陷三维位置检测  defect three-dimensional  图像处理  position detection  image processing