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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻   Extended AMAI-PCA technique based on multi-level Box-Behnken design 期刊论文 optik, 2013, 卷号: 124, 期号: 22, 页码: 5513 作者:  Duan, Lifeng;  Wang, Xiangzhao;  Xu, Dongbo;  Bourov, Anatoly;  Li, Sikun 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)