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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter 期刊论文 J. Opt. Technol., 2017, 卷号: 84, 期号: 5, 页码: 346 作者:  Zhu, Jing;  Xie, Chengke;  Huang, Huijie;  Chen, Ming;  Yang, Baoxi 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/12/25 Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter 期刊论文 J. Opt. Technol., 2017, 卷号: 84, 期号: 5, 页码: 346 作者:  Yang, Baoxi;  Zhu, Jing;  Chen, Ming;  Xie, Chengke;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜   Ultrafast lasers-reliable tools for advanced materials processing 期刊论文 light-sci. appl., 2014, 卷号: 3, 页码: e149 作者:  Sugioka, Koji;  Cheng, Ya 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 3D fabrication  industrial application  micromachining  nanofabrication  ultrafast laser   Ultrafast lasers-reliable tools for advanced materials processing 期刊论文 light-sci. appl., 2014, 卷号: 3, 页码: e149 作者:  Sugioka, Koji;  Cheng, Ya 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 3D fabrication  industrial application  micromachining  nanofabrication  ultrafast laser   飞秒激光脉冲放大与腔外压缩技术的实验研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007 作者:  李小芳 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 高强度超短激光脉冲  啁啾脉冲放大  脉冲压缩  成丝   脉冲紫外激光表面消融硬质合金及其应用研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2002 作者:  李铁军 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 脉冲紫外激光  激光表面消融  硬质合金  金刚石涂层  结合强度   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)