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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2009 [1]
2007 [1]
学科主题
光学工程 [2]
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磁畴观测系统研究及近场光学探针的制备
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
杨永斌
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/11/28
纳米磁性材料
磁畴观测系统
巨磁阻磁头
近场光学探针
静动结合化学腐蚀法
超分辨近场结构记录性能与机理研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
张锋
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/11/28
近场
超分辨
超分辨近场结构
孔径型掩膜
散射型薄膜
只读超分辨光盘
金属纳米粒子
光学元件波前分布对光束质量的影响研究
学位论文
作者:
徐林波
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
波前畸变
Wavefront aberration
数值模拟
Simulation calculation
光束质量
Beam quality
光路设计
Optical layout design
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:148/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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