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上海光学精密机械研... [27]
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专题:上海光学精密机械研究所
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High-Energy Laser System with Self-Sustaining Adaptive Optics and Laser Speckle Effect
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1001001
作者:
Jia YC(贾昱成)
;
Xu Q(许倩)
;
Sun JF(孙建锋)
;
Ceng XL(曾祥龙)
;
Liu LR(刘立人)
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/12/25
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
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浏览/下载:178/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
Filter calculation based on wavefront figures
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 12, 页码: 3033
作者:
Xia ZL(夏志林)
;
Ceng X(曾翔)
;
Liu SJ(刘世杰)
;
Zhou Y(周游)
;
Zhang ZG(张志刚)
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/12/25
星向多层共轭自适应光学大气湍流三维波前模式复原算法分析
期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 1113002
作者:
颜召军
;
杨朋千
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
基于简单透镜列阵的可调焦激光均匀辐照光学系统研究
期刊论文
物理学报, 2015, 卷号: 64, 期号: 5, 页码: 54201
作者:
Jiang Xiu-Juan
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
激光尾波场电子加速器相关物理问题的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
李文涛
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2016/11/28
激光尾波场加速
级联加速
锁相加速
激光多丝
可控电子注入
电子束诊断
一种修正子孔径拼接中系统误差的方法
期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 卷号: 51, 期号: 5, 页码: 51202
作者:
周游
;
王青
;
刘世杰
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/28
子孔径拼接
系统误差
三面互检
Zernike多项式拟合
一种修正子孔径拼接中系统误差的方法
期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 卷号: 51, 期号: 5, 页码: 51202
作者:
周游
;
王青
;
刘世杰
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/28
子孔径拼接
系统误差
三面互检
Zernike多项式拟合
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:
李杰
;
唐锋
;
王向朝
;
戴凤钊
;
冯鹏
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/28
测量
光栅横向剪切干涉
系统误差
Zernike多项式
光刻投影物镜
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:
李杰
;
唐锋
;
王向朝
;
戴凤钊
;
冯鹏
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/25
测量
光栅横向剪切干涉
系统误差
Zernike多项式
光刻投影物镜
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