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| 相干衍射成像在激光驱动器中的应用研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 潘兴臣
  收藏 | 浏览/下载：81/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：93/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 李永
收藏 | 浏览/下载：79/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法 期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 7, 页码: 708006
作者: 李永; 唐锋; 卢云君; 王向朝; 郭福东
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/11/28 |
| 大数值孔径光刻照明光瞳偏振参数检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者: 汤飞龙
收藏 | 浏览/下载：64/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 大口径平面面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者: 徐洋
收藏 | 浏览/下载：88/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 激光波前检测与补偿技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者: 姜有恩
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 晶体性能综合测量系统的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者: 薄锋
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 菲索干涉系统精度分析 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者: 曹晓君
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于低平流层激光测风雷达的光学鉴频器精密温控与光谱标定技术研究 学位论文
作者: 赵存峰
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/12/26
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