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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 216001 作者:  肖艳芬;  朱菁;  杨宝喜;  胡中华;  曾爱军 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  肖艳芬 收藏  |  浏览/下载：352/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  照明系统  微透镜阵列  光束均匀化  均匀性检测