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| 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 沈丽娜
  收藏 | 浏览/下载：172/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 汞原子稳定磁光阱的实现与测量 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 刘亢亢
收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：136/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究 会议论文
作者: 彭常哲; 唐锋; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 轴锥镜锥角检测方法研究 会议论文
作者: 曾爱军; 魏张帆; 袁乔; 张运波; 黄惠杰
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 光刻投影物镜热像差分析方法 会议论文
作者: 茅言杰; 李思坤; 孙刚; 王健; 王磊
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：98/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 结构光双目三维测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘昆
收藏 | 浏览/下载：57/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计 期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 4, 页码: 416001
作者: 蔡燕民; 王向朝; 步扬; 黄惠杰
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2016/11/28 |
| 共轭距可变的光刻投影物镜光学设计 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者: 蔡燕民; 王向朝; 黄惠杰
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2016/11/28
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