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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2016 [2]
2007 [1]
2005 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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光机系统的一体化仿真分析
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
肖阳
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2016/11/28
热变形
刚体位移
Zernike拟合
动态数据交换
光学畸变
光机系统的一体化仿真分析
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
肖阳
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/28
热变形
刚体位移
Zernike拟合
动态数据交换
光学畸变
光机集成分析在ICF高功率激光驱动器结构设计中的应用
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
刘志刚
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
ICF
光机集成分析
Zernike多项式
波前畸变
应力双折射
退偏
半导体激光器泵浦固体激光器的热效应研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:
侯霞
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
热效应
数值模拟
星载激光器
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:154/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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