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Shearing interferometric electron beam imaging based on ptychographic iterative engine method 期刊论文
物理学报, 2017, 卷号: 66, 期号: 13
作者:  Liu C(刘诚);  Li YJ(李元杰);  He XL(何小亮);  Kong Y(孔艳);  Wang SY(王绶玙)
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2017/12/25
Shearing interferometric electron beam imaging based on ptychographic iterative engine method 期刊论文
物理学报, 2017, 卷号: 66, 期号: 13
作者:  Li YJ(李元杰);  He XL(何小亮);  Kong Y(孔艳);  Wang SY(王绶玙);  Liu C(刘诚)
收藏  |  浏览/下载:44/0  |  提交时间:2017/12/25
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  方伟
收藏  |  浏览/下载:127/0  |  提交时间:2016/11/28
偏振横向剪切干涉技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  刘蕾
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2016/11/25
双环路二维剪切干涉检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200410066386.2, 申请日期: 2008-03-05, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
朋汉林; 林礼煌; 徐宏玮; 冷雨欣
收藏  |  浏览/下载:45/1  |  提交时间:2011/07/14
MOPA激光系统波前检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:  邓泽微
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2016/11/28
正弦相位调制角位移干涉测量技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:  郑德锋
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2016/11/28


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