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科研机构
上海光学精密机械研究... [7]
内容类型
专利 [6]
学位论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2007 [3]
2006 [1]
1988 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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脉宽可调的声光调Q双包层光纤激光器
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200610027500.X, 申请日期: 2008-04-23, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
楼祺洪
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赵宏明
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周军
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董景星
;
魏运荣
;
陈慧挺
收藏
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浏览/下载:28/2
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提交时间:2011/07/14
机械挡光式可变光衰减器
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200510029958.4, 申请日期: 2007-10-03, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
任虹
;
瞿荣辉
收藏
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浏览/下载:71/12
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提交时间:2011/07/14
紧凑型可变径接触式球面曲率半径测量仪
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200620042995.9, 申请日期: 2007-08-08, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
杨中国
;
朱健强
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2011/07/14
脉宽可调的声光调Q双包层光纤激光器
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200620042598.1, 申请日期: 2007-05-09, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
楼祺洪
;
赵宏明
;
周军
;
董景星
;
魏运荣
;
陈慧挺
收藏
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浏览/下载:31/1
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提交时间:2011/07/14
机械挡光式可变光衰减器
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200520045235.9, 申请日期: 2006-10-04, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
任虹
;
瞿荣辉
收藏
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浏览/下载:18/2
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提交时间:2011/07/14
重复频率脉冲电源
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL87201104.6, 申请日期: 1988-08-17, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
茅建华
;
蔡希洁
收藏
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浏览/下载:11/2
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提交时间:2011/07/14
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
收藏
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浏览/下载:148/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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