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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 郑秀红 收藏  |  浏览/下载：161/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型  随机Petri网  建模  仿真   复杂离散制造过程建模与性能评价方法研究 学位论文 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008 作者:  刘昶 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/11/29 复杂离散制造过程  建模  性能评价  生产控制  Petri网