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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 面向硬实时工业无线网络的高精度时间同步方法研究与实现 学位论文 硕士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 作者:  杨雨沱 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2013/08/19 工业无线网络  工厂自动化无线网络  IEEE 802.1  TDMA  时间同步   半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文 现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/10/05 半导体制造  过程控制  R2R控制方法  指数加权移动平均  预测控制   CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 王亮 收藏  |  浏览/下载：228/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  化学机械研磨  Run-to-Run控制  预测控制  过程控制   CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593 作者:  王亮;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  R2R控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制   基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/10/24 光刻过程  关键尺寸  最小二乘支持向量机  预测控制  批次控制  微粒群算法   基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文 计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  T-S模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择