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一种半导体制冷温控箱 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107461978A, 申请日期: 2017-12-12,
作者: 米海山; 杨小菊; 张伟; 何旭; 李婷

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一种半导体制冷温控箱的智能温控方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107461977A, 申请日期: 2017-12-12,
作者: 李婷; 张伟; 杨小菊; 何旭; 米海山

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一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN106919982A, 申请日期: 2017-07-04,
作者: 胡国良; 廖柯; 于淼; 里鹏; 段彬

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一种半导体制冷温控箱 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN205860607U, 申请日期: 2017-01-04, 公开日期: 2017-01-04
作者: 张伟; 杨小菊; 何旭; 李婷; 米海山

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一种高速高精度数字脉冲发生电路及脉冲发生方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN105656456B, 申请日期: 2016-06-08, 公开日期: 2018-05-18
作者: 王建军; 吕岩; 杨志家; 段茂强; 王剑

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一种高速高精度数字脉冲发生电路及脉冲发生方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN105656456A, 申请日期: 2016-06-08,
作者: 吕岩; 杨志家; 段茂强; 王剑; 刘志峰

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一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 申请日期: 2015-06-03,
作者: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦

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一种半导体搬运系统天车运动表现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN104679496B, 申请日期: 2015-06-03, 公开日期: 2017-09-22
作者: 金妮; 刘明哲; 王晨曦; 徐皑冬

收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2017/10/19

一种半导体搬运系统天车运动表现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679496A, 申请日期: 2015-06-03,
作者: 金妮; 刘明哲; 徐皑冬; 王晨曦

收藏 | 浏览/下载：231/0 | 提交时间：2015/07/01

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