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半极性GaN的湿法腐蚀特性与生长研究 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  文玲
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/11/30
图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
张璐
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/06/01
AlGaN基深紫外发光二极管和激光器关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
田迎冬
收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2016/06/01
Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王克超
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/05/30
利用光辅助氧化湿法刻蚀Ⅲ族氮化物的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-01-13, 2010-08-12, 2010-10-15
作者:  赵德刚;  张书明
收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2010/08/12
倏逝波耦合型单一载流子行波光电探测器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2009-12-30, 2010-08-12, 2010-10-15
作者:  潘教青
收藏  |  浏览/下载：173/0  |  提交时间：2010/08/12
HVPE气相外延法在c面蓝宝石上选区外延生长GaN及其表征 期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 530-533
作者:  刘喆;  魏同波;  段瑞飞
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/11/23
砷化镓/砷化铝分布布拉格反射镜的湿法腐蚀方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
作者:  徐波
收藏  |  浏览/下载：158/5  |  提交时间：2009/06/11
采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜 期刊论文
半导体学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 10, 页码: 1625-1629
作者:  季安
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/23
湿法腐蚀两步法制备超薄柔性硅衬底的腐蚀工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-11-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
王晓峰; 曾一平; 孙国胜; 黄风义; 王雷; 赵万顺
收藏  |  浏览/下载：64/3  |  提交时间：2009/06/11

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