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山东大学 [5]
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期刊论文 [5]
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Effects of Imprinting Pressure on the Damage of Flexible Composite Mould and Pattern Quality during UV Nanoimprinting
期刊论文
MICROMACHINES, 2019, 卷号: 10, 期号: 10
作者:
Zheng, Xu
;
Wang, Qing
;
Du, Wenquan
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2019/12/11
composite mould
pattern quality
imprinting pressure
UV nanoimprint
Effects of aspect ratio and metal layer thickness on demoulding of metal/polymer bilayer gratings during nanoimprinting
期刊论文
SCIENTIFIC REPORTS, 2018, 卷号: 8
作者:
Zheng, Xu
;
Wang, Qing
;
Zhang, Rui
;
Ma, Lijun
;
Luan, Jinjin
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/11
Analysis of Debonding Problem during Demolding Process of Nanoimprinting
期刊论文
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 545-550
作者:
Wang, Qing
;
Zhang, Jintao
;
Zhang, Rui
;
Zheng, Xu
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/12/11
Hot embossing
Demolding
Contact properties
Deformation
Finite
element method
Analysis of Von Mises Stress and Deformation of Resists during Demolding Process of Nanoimprinting
期刊论文
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2015, 卷号: 28, 期号: 4, 页码: 557-562
作者:
Wang, Qing
;
Zhang, Rui
;
Zheng, Xu
;
Liu, Huawei
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/17
Nanoimprint
von Mises stress
deformation
contact force
finite
element method
Analysis of the Metal/Polymer Bi-layer Structure during Demolding Process of Nanoimprinting
期刊论文
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2015, 卷号: 28, 期号: 6, 页码: 763-767
作者:
Wang, Qing
;
Zheng, Xu
;
Zhang, Rui
;
Zhang, Jintao
;
Ma, Lijun
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2019/12/17
Nanoimprint
bi-layer structure
finite element method
von Mises
stress
deformation
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