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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：四川大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Characteristics of Single Cathode Cascaded Bias Voltage Arc Plasma 期刊论文 等离子体科学和技术（英文版）, 2016, 卷号: No.6 - 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/03/26 plasma  source  cascaded  arc  quartz  chamber  single  cathode