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PECVD法低温淀积SiC_x薄膜的防水汽扩散性能研究 期刊论文
功能材料, 2000, 期号: S1
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 徐立强
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塑封TQFP器件及电子模块封装防潮性能的研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 2000
赵润涛
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2012/03/06
正交实验方法研究PECVD碳化硅薄膜的防水汽扩散性质 期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 04
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 赵润涛; 盛玫; 徐立强
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2012/03/29
等离子体增强化学气相低温沉积碳化硅薄膜及其性质研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 01
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 徐立强
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2012/03/29
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备碳化硅薄膜及其性质研究[D] 学位论文
硕士: 中国科学院上海冶金研究所, 1999
姜利军
收藏  |  浏览/下载:121/0  |  提交时间:2012/03/06
利用离子束技术及PECVD制备碳化硅 期刊论文
核技术, 1998, 期号: 09
陈长清; 任琮欣; 杨立新; 严金龙; 郑志宏; 周祖尧; 陈平; 柳襄怀; 陈学良
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/03/29


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